MEB de table SH-5500P

Ce microscope électronique est le premier MEB de table haut de gamme à combiner une platine 5 axes entièrement motorisée et une grande chambre qui permet d'accueillir des échantillons de grande taille. La tension d'accélération est réglable de 1 à 30 kV (6 pas).

X, Y, Z (40mm) Inclinaison (-15 à +90°), Rotation (360°)

- Compatible avec Windows 10
- 5 axes entièrement motorisés
- L'inclinaison de -45 à +90 degrés permet une observation parfaite de l'échantillon.
- Permet la reconstruction 3D à partir d'images stéréo SE couplées ou de 4 images en électrons rétrodiffusés BSE
- Possibilité d'inclinaison à 70 degrés pour l'EBSD (option)
- Taille maximale de l'échantillon : diamètre 80 mm, épaisseur 40 mm

Contrôlé par ordinateur, puissant et compact

Interface graphique simple d'utilisation

Caméra CCD avec navigateur de platine

Une caméra CCD fixée au MEB permet de capturer une image du porte-échantillons avec les échantillons.

L'image est automatiquement chargée dans le logiciel du MEB.

Pour se déplacer sur l'échantillon, il suffit de cliquer sur l'image et la table se déplace.

Spécifications standard

  •  Image jusqu'à 5120x3560 pixels
  • Résolution faisceau 5nm (SE)
  • Fort agrandissement : x150K
  • 4 ouvertures variables et une taille de spot variable en continu
  • Modes vide poussé (high vacuum) et vide dégradé (low vacuum)
  • Détecteur de SE et de BSE
  • Mode dual
  • 1 à 30 kV (6 pas 5kV)
  • Ajustements automatiques
  • Navigateur de table 5 axes

2 niveaux de vide : vide poussé et vide dégradé

2 détecteurs d'électrons : SE et BSE (4 diodes)

EDS intégré par BRUKER Nano

Le SH-5500P se prête à l'analyse EDS (ESPRIT 2.1 de BRUKER) et EBSD ou les deux ensemble.
Deux modèles d'EDS sont disponibles :

QUANTAX 100

Détecteur à dérive au silicium (SDD) sans azote
Détection du bore à l'uranium, 129ev Résolution 10 & 30 mm²
Logiciels d'analyse qualitative et quantitative

QUANTAX 100 Avancé

Acquisition de spectre multipoints et de zones
Profil de la ligne
Cartographie par rayons X et imagerie spectrale

Chambre polyvalente pour les outils spéciaux

Caractéristiques optionnelles

  • Analyse automatique des particules et inspection des filtres
  • Logiciel de reconstruction 3D (Mountains Map)
  • Compatible avec la platine de refroidissement/chauffage
  • Compatible EDS & EBSD
  • Expériences in-situ