Nano Point Scanner

wenn Mikroskopie auf Metrologie trifft

Der NPS ist ein konfokaler Weißlicht-Punktsensor kombiniert mit einem hochpräzisen motorisierten Tisch.
Es ermöglicht Höhenmessungen im Submikrometerbereich auf jeder Art von Oberfläche ohne jeglichen Kontakt mit der Probe.

Hochgeschwindigkeits-Profil

Durch die Bewegung der Probe mit dem hochpräzisen motorisierten XY-Tisch in einer Achse erfasst der NPS eine Reihe von fokussierten Punkten in einem gewählten Intervall und erstellt so ein schnelles Profil: die Messung von Höhe, Abstand, Radius, Linienrauheit (Ra, Rz, Rt,...) und vieles mehr kann innerhalb von Sekunden durchgeführt werden!

Hochauflösende Oberfläche

Durch die Erstellung einer Reihe von ausgerichteten Profilen erfasst der NPS XYZ-Informationen, die eine hochauflösende 3D-Oberfläche erzeugen: Volumen, Oberflächenrauhigkeit (Sa, Sz,...), komplexe Form, 3D-Welligkeit und vieles mehr kann gemessen werden - die Dauer des Scans wird durch die Anzahl der Linien, die Scangeschwindigkeit und die Dimension der Probe angepasst!

Arbeitet auf jeder Art von Oberfläche

Das konfokale System erzeugt eine scharf fokussierte Beobachtungsebene. Punkte, die sich über oder unter der Objektoberfläche befinden, sind völlig unscharf, so dass die Art des Materials keine Rolle spielt: Die Probe kann spiegelnd, glänzend, reflektierend oder rau sein, sie kann undurchsichtig oder völlig transparent sein.

ISO-zertifizierte Messung

Die Weißlicht-Chromatisch-Konfokaltechnologie ist ISO-zertifiziert für die Rauheitsmessung und wird derzeit von vielen Unternehmen und Forschungszentren auf der ganzen Welt eingesetzt. Das NPS ermöglicht hochpräzise Messungen in der XYZ-Achse über die Begrenzung der optischen Tiefenschärfe hinaus.

Konfokale Weißlichtmessung

Das NPS ist ein innovatives berührungsloses konfokales 3D-Profilometer zur berührungslosen Höhenmessung in Echtzeit, zur Profil- oder Oberflächenabtastung:

  1. Der Weißlicht-LED-Strahl wird durch einen Strahlteiler projiziert
    und eine chromatische Linse auf die Oberfläche der Probe
  2. Der von der Probe reflektierte Lichtstrahl wird in einem
    konfokale Lochblende, die eine einzelne Wellenlänge im perfekten Fokus isoliert
  3. Das NPS-Spektrometer setzt diese Wellenlänge genau um
    in Höheninformationen umzuwandeln und diese in der NPS-Software visuell darzustellen
  4. Bis zu 2000 Höheninformationen pro Sekunde werden erfasst in
    Echtzeit-Erstellung eines Profils beim Bewegen des XY-Tisches

        Sie können zwischen zwei Modi wählen: Profil oder Oberfläche

Eine breite Palette von Messmöglichkeiten

Durch die Kombination von hochpräzisen Messungen mit fortschrittlicher Metrologie-Software erfüllt der NPS alle Ihre Metrologie-Anforderungen.

PROFIL & MEHRFACHPROFIL

Die schnellste Art, eine Messung durchzuführen! Nach dem Scannen zwischen zwei Punkten zeigt der NPS das Profil an: Sie können dann die Höhe einstellen, horizontale und vertikale Abstände sowie Ra-, Rz- und Rt-Messungen messen. Für fortgeschrittene Messungen wählen Sie im NPS-Menü die gewünschte Hirox Map-Vorlage aus. Mit der neuen programmierbaren Multiprofil-Funktion führen Sie einfach mehrere einzelne Profile aus, die in einem einzigen Bericht zusammengefasst sind

FORMEN & FORMEN

Oberflächenform und -geometrie können einfach gemessen werden: An einem kugelförmigen Objekt können die Messergebnisse einer Krümmung z.B. mit der Fertigungsvorschrift verglichen werden. Andere Formen wie Linien, Ebenen, Kugeln, Zylinder oder Freiform sind typische Objekte, die der NPS messen kann: Länge, Höhe, Radius, Winkel, Volumen u.v.m. Mit großen Messbereichen bis 4000 Mikrometer können verschiedene Formen erfasst und gemessen werden.

EBENHEIT, WELLIGKEIT UND KOPLANARITÄT

Verwölbung, Verformung, Welligkeit oder Ebenheit lassen sich mit dem Nano-Punkt-Scanner leicht auf großen Flächen messen! Dank des XY-Tisches bis 500x500mm können Defekte gemessen werden, die z.B. durch Maschinen- oder Arbeitsanomalien, Eigenspannungen, Vibrationen oder Wärmebehandlung entstehen können.

Die Koplanarität ist ein weiterer Parameter, der große Entfernungen und eine hohe Z-Genauigkeit erfordert. Dies kann entweder durch ein Profil oder eine Oberfläche erreicht werden.

RAUHEIT, TEXTUR & FEHLER

Die Oberflächenmesstechnik bestimmt die Oberflächentopographie, die für die Bestätigung der Eignung einer Oberfläche für ihre Funktion unerlässlich ist. Die Oberflächenmessung umfasst die Profilrauheit (Ra), die Oberflächenrauheit (Sa), die Oberflächentextur, die Rauheit und die strukturelle Charakterisierung.

Für Herstellungs- und Konstruktionszwecke ist die Messung entscheidend, um sicherzustellen, dass das fertige Material die Konstruktionsspezifikation erfüllt.

Die NPS-Sensoren

Die richtigen Sensoren für Ihre Anforderungen

Das NPS-System bietet eine große Auswahl an Sensoren, um nahtlose hochgenaue Messungen zu erzielen. Je nach Anwendung können Sie die für Ihre Bedürfnisse am besten geeigneten Sensoren auswählen: kleiner Messbereich für höchste Genauigkeit und Rauheitsmessung oder großer Messbereich für hohe Proben und Formmessungen.

 NP1NP2NP3NP4NPX3
Messbereich150 μm400 μm1400 μm4000 μm1000 μm
Arbeitsabstand3,3 mm10,8 mm12 mm16,2 mm18,5 mm
Maximale Neigung der Probe42.5°28°25°21°44°
Laterale Resolution1 μm1,8 μm2,6 μm4,6 μm4 μm
Genauigkeit der Höhe20 nm45 nm150 nm300 nm100 nm
Geeignet für RauheitOKOKOK

Leistungsstarkes Mess- und Berichtssystem

Mithilfe der fortschrittlichsten Metrologie-Software können Sie mit dem NPS-System auf einfachste Weise Berichte mit präzisen Messungen erstellen

Nutzen Sie die Vorteile der Software Best Metrology

Die Digital Surf-Technologie ist die am weitesten fortgeschrittene
Metrologielösung auf dem Markt:

  • Echtzeit-Abbildung der 3D-Oberflächentopographie
  • 3D-Oberflächen-Overlays zur schnellen Lokalisierung von Merkmalen: Höhe
    Farbe + Intensität Bilder aus dem NPS kombiniert
  • Datenerfassungs- und Proben-Artefakte entfernen
  • Flächenextraktion, Ebenenkorrektur, Formkorrektur
  • Vollständige Mess-Suite für Profile und 3D-Daten mit
    Rückverfolgbarkeit von Anwendern und Prozessen

Einfache Berichterstattung

  • Einfache Integration in Labor- und Produktionsumgebungen Export aller numerischen Ergebnisse.
  • Einfache Veröffentlichung - Export von Analysedokumenten, Seiten
    und Einzelbilder bis zu 1200 dpi.

Automatisierung der Analyse

Leistungsfähige Automatisierungstools sorgen für eine hohe Produktivität: Serien von Oberflächendatensätzen können automatisch analysiert werden, und gängige Sequenzen von Analyseschritten können gespeichert werden, um sie in jedes zukünftige Analysedokument einzufügen.

Pass/Fail-Kriterien können für jeden Parameter angegeben werden und grüne (pass) / rote (fail) "Ampeln" werden automatisch auf dem Bericht angezeigt. Alle Ergebnisse können im CSV- / Excel-Format extrahiert werden

Unbegrenzte Anwendungen